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采用热氧化方法制备的二氧化硅从结构上看是()的。

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    物理性能(physical properties)、碱金属(alkali metal)、高纯水(high purity water)、钠离子(sodium ion)、稀有金属(rare metal)、热氧化(thermal oxidation)、成品率(yield)、高纯化学试剂

  • [单选题]采用热氧化(thermal oxidation)方法制备的二氧化硅从结构上看是()的。

  • A. 结晶形态
    B. 非结晶形态
    C. 可能是结晶形态的,也可能是非结晶形态的
    D. 以上都不对

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  • 学习资料:
  • [多选题]解决氧化层中的钠离子沾污的方法有()。
  • A. 加强工艺操作
    B. 加强人体和环境卫生
    C. 使用高纯化学试剂、高纯水和超净设备
    D. 采用HCl氧化工艺
    E. 硅片清洗后,要充分烘干,表面无水迹

  • [多选题]沾污是指半导体制造过程中引入半导体硅片的任何危害微芯片()的不希望有的物质。
  • A. 功能
    B. 成品率(yield)
    C. 物理性能
    D. 电学性能
    E. 外观

  • [单选题]危害半导体工艺的典型金属杂质是()。
  • A. 2族金属
    B. 碱金属
    C. 合金金属
    D. 稀有金属

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