正确答案: ABCDE

磷钙玻璃 三氯氧磷 三氯化磷 磷烷 掺磷二氧化硅乳胶源

题目：下列可作为磷扩散源的是（）。

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[多选题]光刻胶的光学稳定通过（）来完成的。

加热

紫外光辐射

[单选题]当注入剂量增加到某个值时，损伤量不再增加，趋于饱和。开始饱和的注入剂量称为（）。

临界剂量

[多选题]通常情况下，我们改变工艺条件使刻蚀进行中（）的刻蚀速率尽量低。

光刻胶

衬底

[单选题]一般来说，我们用一定量的（）使阳树脂再生。

盐酸

[多选题]静电释放带来的问题有哪些（）。

芯片产生超过1A的峰值电流

栅氧化层击穿

吸引带电颗粒或极化并吸引中性颗粒到硅片表面