【名词&注释】
扩散系数(diffusion coefficient)、磁分析器(magnetic analyzer)、投影射程(projected range)、干氧氧化(dry oxidation)
[单选题]射程在垂直入射方向的平面内的投影长度称之为()。
A. 投影射程
B. 射程纵向分量
C. 射程横向分量
D. 有效射程
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学习资料:
[多选题]干氧氧化(dry oxidation)法具备以下一系列的优点()。
A. 生长的二氧化硅薄膜均匀性好
B. 生长的二氧化硅干燥
C. 生长的二氧化硅结构致密
D. 生长的二氧化硅是很理想的钝化膜
E. 生长的二氧化硅掩蔽能力强
[单选题]表示杂质在硅-二氧化硅界面处重新分布的性质和程度,习惯上常用()。
A. 分凝度
B. 固溶度
C. 分凝系数
D. 扩散系数
[多选题]关于正胶和负胶在显影时的特点,下列说法正确的是()。
A. 负胶的感光区域溶解
B. 正胶的感光区域溶解
C. 负胶的感光区域不溶解
D. 正胶的感光区域不溶解
E. 负胶的非感光区域溶解
[多选题]下列哪些因素会影响临界注入量的大小:()。
A. 注入离子的质量
B. 靶的种类
C. 注入温度
D. 注入速度
E. 注入剂量
[单选题]在磁分析器中常用()分析磁铁。
A. 柱形
B. 扇形
C. 方形
D. 圆形
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