正确答案: CDE

直流仪表 交流仪表 交直流仪表

题目：电气测量仪表若按照电流的种类来分，有（）。

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[单选题]下列哪些元素在硅中是快扩散元素：（）。

Na

[单选题]在深紫外曝光中，需要使用CA光刻胶，CA的含义是（）。

化学增强

[单选题]多晶硅栅极刻蚀最大的挑战就是对（）的高选择性。超薄的栅氧化层使得在刻蚀多晶硅电极时对栅氧化层的刻蚀要尽可能的小。

二氧化硅

[单选题]（）是与气体辉光放电现象密切想关的一种薄膜淀积技术。

溅射

[单选题]悬浮在空气中的颗粒称为（）。

浮质