正确答案: C

干式真空泵

题目：dry vacuum pump的意思是（）。

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学习资料的答案和解析：

[多选题]光刻胶主要由（）等不同材料混合而成的。

树脂

感光剂

溶剂

[多选题]下列有关曝光系统的说法正确的是（）。

投影式同接触式相比，掩模版的利用率比较高

接触式的分辨率优于接近式

接近式的分辨率受到衍射的影响

投影式曝光是目前采用的主要曝光系统

[多选题]光刻胶的光学稳定通过（）来完成的。

加热

紫外光辐射

[单选题]分析器是一种（）分选器。

离子

[单选题]在IC芯片生长中浅沟槽隔离技术STI逐渐取代了局部氧化LOCOS所制成的（）而成为相邻电子元件的绝缘体

场氧化层