在半导体工艺中，如果淀积的薄膜不是连续的，存在一些空隙，则（

【名词&注释】

介电常数(dielectric constant)、半导体(semiconductor)、加速器(accelerator)、扩散工艺(diffusion process)、玻璃管(glass tube)

[多选题]在半导体工艺中，如果淀积的薄膜不是连续的，存在一些空隙，则（）。

A. 使薄膜的介电常数变大
B. 可能引入杂质
C. 可能使薄膜层间短路
D. 使薄膜介电常数变小
E. 可能使薄膜厚度增加

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学习资料：

[多选题]扩散工艺使杂质由半导体晶片表面向内部扩散，改变了晶片（），所以晶片才能被人们所使用。

A. 内部的杂质分布
B. 表面的杂质分布
C. 整个晶体的杂质分布
D. 内部的导电类型
E. 表面的导电类型

[多选题]直流二极管辉光放电系统是由（）构成。

A. 抽真空的玻璃管^{(glass tube)}
B. 抽真空后再充入某种低压气体的玻璃管^{(glass tube)}
C. 两个电极
D. 加速器
E. 增益管

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