【名词&注释】
真空镀膜(vacuum coating)、真空蒸发(vacuum evaporation)、原子数(atomicity)
[单选题]()是指每个入射离子溅射出的靶原子数。
A. 溅射率 B. 溅射系数 C. 溅射效率 D. 溅射比