正确答案: ACD

负胶受显影液的影响比较小 正胶的曝光区将会膨胀变形 使用负胶可以得到更高的分辨率

题目：有关光刻胶的显影下列说法错误的是（）。

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[单选题]在热扩散工艺中的预淀积步骤中，磷的扩散温度为（）。

900～1050℃

[多选题]对于非晶靶，离子注入的射程分布取决于（）。

入射离子的能量

入射离子的质量

入射离子的原子序数

靶原子的质量、原子序数、原子密度

注入离子的总剂量