有关光刻胶的显影下列说法错误的是（）。

【名词&注释】

热扩散(thermal diffusion)、光刻胶、离子注入(ion implantation)、原子序数(atomic number)、射程分布(range distribution)、显影液(developer)

[多选题]有关光刻胶的显影下列说法错误的是（）。

A. 负胶受显影液^(developer)的影响比较小
B. 正胶受显影液^(developer)的影响比较小
C. 正胶的曝光区将会膨胀变形
D. 使用负胶可以得到更高的分辨率
E. 负胶的曝光区将会膨胀变形

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学习资料：

[单选题]在热扩散工艺中的预淀积步骤中，磷的扩散温度为（）。

A. 600～750℃
B. 900～1050℃
C. 1100～1250℃
D. 950～1100℃

[多选题]对于非晶靶，离子注入的射程分布^{(range distribution)}取决于（）。

A. 入射离子的能量
B. 入射离子的质量
C. 入射离子的原子序数
D. 靶原子的质量、原子序数、原子密度
E. 注入离子的总剂量

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