真空镀膜室内，在蒸发源加热器与衬底加热器之间装有活动挡板，用

【名词&注释】

离子注入(ion implantation)、应用层(application layer)、加热器(heater)、真空镀膜(vacuum coating)、物理层(physical layer)

[单选题]真空镀膜室内，在蒸发源加热器与衬底加热器之间装有活动挡板，用来（）。

A. 隔挡气体交换
B. 控制蒸发的过程
C. 辅助热量交换
D. 温度调节

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学习资料：

[单选题]TCP/IP协议中的TCP相当于OSI中的（）。

A. 应用层
B. 网络层
C. 物理层^{(physical layer)}
D. 传输层

[单选题]为了防止抽气设备对离子注入系统的油污染，可在靶室前增加一个（）或采用无油泵。

A. 液氮冷阱
B. 净化阱
C. 抽气阱
D. 无气泵

[单选题]（）方法是大规模集成电路生产中用来沉积不同金属的应用最为广泛的技术。

A. 蒸镀
B. 离子注入
C. 溅射
D. 沉积

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