正确答案: B

控制蒸发的过程

题目：真空镀膜室内，在蒸发源加热器与衬底加热器之间装有活动挡板，用来（）。

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[单选题]TCP/IP协议中的TCP相当于OSI中的（）。

传输层

[单选题]为了防止抽气设备对离子注入系统的油污染，可在靶室前增加一个（）或采用无油泵。

液氮冷阱

[单选题]（）方法是大规模集成电路生产中用来沉积不同金属的应用最为广泛的技术。

溅射