对于非晶靶，离子注入的射程分布取决于（）。

【名词&注释】

化学反应(chemical reaction)、测量方法(measurement method)、离子注入(ion implantation)、比色法(colorimetry)、原子序数(atomic number)、射程分布(range distribution)、圆偏振光(circularly polarized light)、偏振光法(polarized light method)

[多选题]对于非晶靶，离子注入的射程分布^{(range distribution)}取决于（）。

A. 入射离子的能量
B. 入射离子的质量
C. 入射离子的原子序数
D. 靶原子的质量、原子序数、原子密度
E. 注入离子的总剂量

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学习资料：

[单选题]钠、钾等大离子在二氧化硅结构中是（）杂质。

A. 替位式
B. 间隙式
C. 施主
D. 可能是替位式也可能是间隙式

[多选题]二氧化硅薄膜厚度的测量方法有（）。

A. 比色法
B. 双光干涉法
C. 椭圆偏振光^{(circularly polarized light)}法
D. 腐蚀法
E. 电容-电压法

[单选题]（）主要是以化学反应方式来进行薄膜沉积的。

A. PVD
B. CVD
C. 溅射
D. 蒸发

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