正确答案: B

空洞

题目：溅镀法，因为其阶梯覆盖的能力不良，很容易造成因填缝不完全所留下的（）。

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[单选题]当注入剂量增加到某个值时，损伤量不再增加，趋于饱和。开始饱和的注入剂量称为（）。

临界剂量

[单选题]（）是测量在刻蚀过程中物质被移除的速率有多快的一种参数。

刻蚀速率