电离气体与普通气体的不同之处在于：后者是由电中性的分子或原子

【名词&注释】

电子束蒸发(electron beam evaporation)、化学反应(chemical reaction)、测量方法(measurement method)、真空蒸发(vacuum evaporation)、各向同性(isotropic)、干法刻蚀(dry etching)、带电粒子(charged particle)、不同之处、原子团(radical)、离子束蒸发(ion beam evaporation)

[单选题]电离气体与普通气体的不同之处在于：后者是由电中性的分子或原子组成的，前者则是（）和中性粒子组成的集合体。

A. 离子
B. 原子团^(radical)
C. 电子
D. 带电粒子^{(charged particle)}

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学习资料：

[单选题]采用热氧化方法制备的二氧化硅从结构上看是（）的。

A. 结晶形态
B. 非结晶形态
C. 可能是结晶形态的，也可能是非结晶形态的
D. 以上都不对

[多选题]二氧化硅薄膜厚度的测量方法有（）。

A. 比色法
B. 双光干涉法
C. 椭圆偏振光法
D. 腐蚀法
E. 电容-电压法

[单选题]由于干法刻蚀中是同时对晶片上的光刻胶及裸露出来的薄膜进行刻蚀的，所以其（）就比以化学反应的方式进行刻蚀的湿法还来得差。

A. 刻蚀速率
B. 选择性
C. 各向同性
D. 各向异性

[多选题]按加热源的不同，可以分成（）几种不同类型的蒸发。

A. 真空蒸发
B. 离子束蒸发^{(ion beam evaporation)}
C. 电子束蒸发
D. 粒子束蒸发
E. 常压蒸发

[单选题]由于水中阴阳离子都有导电能力，所以水的（）越高，水中离子数就越少。

A. 电阻率
B. 电导率
C. 电阻
D. 电导

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