二氧化硅膜的质量要求有（）。

【名词&注释】

去离子水(deionized water)、自下而上(from below)、有机玻璃(pmma)、载流子浓度(carrier concentration)、聚氯乙稀、射程分布(range distribution)、自右而左、符合要求(meet the requirement)、自左而右、单位面积(unit area)

[多选题]二氧化硅膜的质量要求有（）。

A. 薄膜表面无斑点
B. 薄膜中的带电离子含量符合要求^{(meet the requirement)}
C. 薄膜表面无针孔
D. 薄膜的厚度达到规定指标
E. 薄膜厚度均匀，结构致密

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学习资料：

[单选题]菲克一维扩散定律公式中的J是代表单位面积^{(unit area)}溶质（）。

A. 传输率
B. 载流子浓度
C. 扩散梯度
D. 扩散系数

[多选题]在深紫外曝光中，需要使用CA光刻胶，它的优点在于（）。

A. CA光刻胶对深紫外光吸收小
B. CA光刻胶将吸收的光子能量发生化学转化
C. CA光刻胶在显影液中的可溶性强
D. 有较高的光敏度
E. 有较高的对比度

[多选题]对于非晶靶，离子注入的射程分布取决于（）。

A. 入射离子的能量
B. 入射离子的质量
C. 入射离子的原子序数
D. 靶原子的质量、原子序数、原子密度
E. 注入离子的总剂量

[单选题]在刻蚀（）过程中假如我们在CF5的等离子体内加入适量的氧气，能够提高刻蚀的速率。

A. 铜
B. 铝
C. 金
D. 二氧化硅

[单选题]将具有交换能力的阳树脂和阴树脂按一定比例混合后，装在聚氯乙稀或有机玻璃做的圆柱形交换柱内，自来水（）通过交换柱就能称为高纯度去离子水。

A. 自上而下
B. 自下而上
C. 自左而右
D. 自右而左

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