正确答案: ABCDE

薄膜表面无斑点 薄膜中的带电离子含量符合要求 薄膜表面无针孔 薄膜的厚度达到规定指标 薄膜厚度均匀，结构致密

题目：二氧化硅膜的质量要求有（）。

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[单选题]菲克一维扩散定律公式中的J是代表单位面积溶质（）。

传输率

[多选题]在深紫外曝光中，需要使用CA光刻胶，它的优点在于（）。

CA光刻胶对深紫外光吸收小

CA光刻胶将吸收的光子能量发生化学转化

CA光刻胶在显影液中的可溶性强

有较高的光敏度

有较高的对比度

[多选题]对于非晶靶，离子注入的射程分布取决于（）。

入射离子的能量

入射离子的质量

入射离子的原子序数

靶原子的质量、原子序数、原子密度

注入离子的总剂量

[单选题]在刻蚀（）过程中假如我们在CF5的等离子体内加入适量的氧气，能够提高刻蚀的速率。

二氧化硅

[单选题]将具有交换能力的阳树脂和阴树脂按一定比例混合后，装在聚氯乙稀或有机玻璃做的圆柱形交换柱内，自来水（）通过交换柱就能称为高纯度去离子水。

自上而下