按曝光的光源分类，曝光可以分为（）。

【名词&注释】

扩散系数(diffusion coefficient)、电子束(electron beam)、载流子浓度(carrier concentration)、离子束(ion beam)、传输率(transfer rate)、单位面积(unit area)、干氧氧化(dry oxidation)、速度慢(slow speed)

[多选题]按曝光的光源分类，曝光可以分为（）。

A. 光学曝光
B. 离子束曝光
C. 接近式曝光
D. 电子束曝光
E. 投影式曝光

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学习资料：

[单选题]干氧氧化^{(dry oxidation)}法有一些优点，但同时它的缺点有（）。

A. 生长出的二氧化硅中引入很多可动离子
B. 氧化的速度慢^{(slow speed)}
C. 生长的二氧化硅缺陷多
D. 生长的二氧化硅薄膜钝化效果差

[单选题]菲克一维扩散定律公式中的J是代表单位面积^{(unit area)}溶质（）。

A. 传输率
B. 载流子浓度
C. 扩散梯度
D. 扩散系数

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