正确答案: ABD

光学曝光 离子束曝光 电子束曝光

题目：按曝光的光源分类，曝光可以分为（）。

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[单选题]干氧氧化法有一些优点，但同时它的缺点有（）。

氧化的速度慢

[单选题]菲克一维扩散定律公式中的J是代表单位面积溶质（）。

传输率