正确答案: D

腔体

题目：离子源的基本结构是由产生高密度等离子体的（）和引出部分组成。

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学习资料的答案和解析：

[多选题]光刻胶的光学稳定通过（）来完成的。

加热

紫外光辐射

[多选题]半导体芯片生产中，离子注入主要是用来（）。

改变导电类型

改变材料性质

[多选题]电荷积分仪的基本单元包括（）。

I-V转换

V-f转换

十进制计数电路

控制电路

[单选题]离子束垂直进入均匀的正交磁场后，将同时受到电场力和（）的作用。

洛仑兹力

[单选题]为了解决中性束对注入均匀性的影响，可在系统中设有（），使离子束偏转后再达到靶室。

静电偏转电极

[多选题]薄膜沉积的机构包括那些步骤（）。

形成晶核

晶粒成长

晶粒凝结

缝道填补

沉积膜成长