【名词&注释】
化学反应(chemical reaction)、主要原因(main cause)、热氧化(thermal oxidation)
[单选题]当热氧化的最初阶段,()为限制反应速率的主要原因。
A. 温度 B. 硅-二氧化硅界面处的化学反应 C. 氧的扩散速率 D. 压力