【名词&注释】
光刻胶、资源配置(resource allocation)、离子注入(ion implantation)、对比度(contrast)、经营范围(business scope)、开发工具(development tool)、紫外光吸收(ultraviolet absorption)、显影液(developer)、薄膜淀积(thin film deposition)
                            
                                                                                                                                                                                             
                                                                     [单选题]企业的战略一般由四个要素组成,即经营范围、资源配置、竞争优势以及协同合作,其中协同合作是指企业通过共同的努力达到()。
                                                                                                
                                  A. 分力之和大于简单相加的结果 
  B. 分力之和等于简单相加 
  C. 共享开发工具、共享信息 
  D. 共同分担着开发失败的风险 
 
                                    
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                                     [单选题]当二氧化硅膜很薄时,膜厚与时间()。
                                                                                                            
                                            A. t2成正比 
  B. t2成反比 
  C. t成正比 
  D. t成反比 
 
                                                                    
                                    
                                     [多选题]关于正胶和负胶的特点,下列说法正确的是()。
                                                                                                            
                                            A. 正胶在显影时不会发生膨胀,因此分辨率高于负胶 
  B. 正胶的感光区域在显影时不溶解,负胶的感光区域在显影时溶解 
  C. 负胶在显影时不会发生膨胀,因此分辨率不会降低 
  D. 正胶的感光区域在显影时溶解,负胶的感光区域在显影时不溶解 
  E. 负胶在显影时会发生膨胀,导致了分辨率的降低 
 
                                                                    
                                    
                                     [单选题]在深紫外曝光中,需要使用()光刻胶。
                                                                                                            
                                            A. DQN 
  B. CA 
  C. ARC 
  D. PMMA 
 
                                                                    
                                    
                                     [多选题]在深紫外曝光中,需要使用CA光刻胶,它的优点在于()。
                                                                                                            
                                            A. CA光刻胶对深紫外光吸收(ultraviolet absorption)小 
  B. CA光刻胶将吸收的光子能量发生化学转化 
  C. CA光刻胶在显影液(developer)中的可溶性强 
  D. 有较高的光敏度 
  E. 有较高的对比度 
 
                                                                    
                                    
                                     [多选题]通常情况下,我们改变工艺条件使刻蚀进行中()的刻蚀速率尽量低。
                                                                                                            
                                            A. 光刻胶 
  B. 衬底 
  C. 表面硅层 
  D. 扩散区 
  E. 源漏区 
 
                                                                    
                                    
                                     [单选题]()是与气体辉光放电现象密切想关的一种薄膜淀积(thin film deposition)技术。
                                                                                                            
                                            A. 蒸镀 
  B. 离子注入 
  C. 溅射 
  D. 沉积 
 
                                                                    
                                    
                                     [单选题]ESD产生()种不同的静电总类。
                                                                                                            
                                            A. 1 
  B. 4 
  C. 3 
  D. 2 
 
                                                            
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