（）的方法有利于减少热预算。

【名词&注释】

中子源(neutron source)、离子注入(ion implantation)、多晶硅(polysilicon)、砷化氢(arsine)、离子源(ion source)、有利于(beneficial to)、分析器(analyzer)、高压氧化、湿氧氧化(wet oxidized)

[多选题]（）的方法有利于减少热预算。

A. 高压氧化
B. 湿氧氧化^{(wet oxidized)}
C. 掺氯氧化
D. 氢氧合成氧化
E. 等离子增强氧化

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学习资料：

[单选题]离子注入装置的主要部件有（）、分析器^(analyzer)、加速聚焦系统等。

A. 中子源
B. 离子源
C. 电子源
D. 质子源

[多选题]离子注入的主要气体源中，剧毒的有（）。

A. 砷化氢
B. 二硼化氢
C. 四氟化硅
D. 三氟化磷
E. 五氟化磷

[单选题]请在下列选项中选出多晶硅化金属的英文简称：（）。

A. A.OxideB.NitrideC.SilicideD.Polycide

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