通常热扩散分为两个大步骤，其中第一个步骤是（）。

【名词&注释】

热扩散(thermal diffusion)、电阻率(resistivity)、离子注入(ion implantation)、加速器(accelerator)、交直流(ac dc)、第一个(first)、表面浓度(surface concentration)、干氧氧化(dry oxidation)、湿氧氧化(wet oxidized)、离子分析器(ion analyzer)

[单选题]通常热扩散分为两个大步骤，其中第一个步骤是（）。

A. 再分布
B. 等表面浓度^{(surface concentration)}扩散
C. 预淀积
D. 等总掺杂剂量扩散

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[单选题]下列几种氧化方法相比，哪种方法制得的二氧化硅薄膜的电阻率会高些（）。

A. 干氧氧化^{(dry oxidation)}
B. 湿氧氧化^{(wet oxidized)}
C. 水汽氧化
D. 与氧化方法无关

[单选题]早期，研究离子注入技术是用（）来进行的。

A. 重离子加速器
B. 热扩散炉
C. 质子分析仪
D. 轻离子分析器^{(ion analyzer)}

[多选题]电气测量仪表若按照电流的种类来分，有（）。

A. 低压仪表
B. 高压仪表
C. 直流仪表
D. 交流仪表
E. 交直流仪表

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