离子注入装置的主要部件有（）、分析器、加速聚焦系统等。

【名词&注释】

中子源(neutron source)、高纯水(high purity water)、离子注入(ion implantation)、钠离子(sodium ion)、离子源(ion source)、分析器(analyzer)、高纯化学试剂

[单选题]离子注入装置的主要部件有（）、分析器^(analyzer)、加速聚焦系统等。

A. 中子源
B. 离子源
C. 电子源
D. 质子源

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[多选题]解决氧化层中的钠离子沾污的方法有（）。

A. 加强工艺操作
B. 加强人体和环境卫生
C. 使用高纯化学试剂、高纯水和超净设备
D. 采用HCl氧化工艺
E. 硅片清洗后，要充分烘干，表面无水迹

[多选题]树脂使用过程中需保持一定温度，阳树脂和阴树脂分别不能高于（）度，使用温度不能过低，低于0度会使树脂冻裂。

A. 80
B. 60
C. 40
D. 20
E. 10

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