下列几种氧化方法相比，哪种方法制得的二氧化硅薄膜的电阻率会高

【名词&注释】

电阻率(resistivity)、真空镀膜(vacuum coating)、干氧氧化(dry oxidation)、湿氧氧化(wet oxidized)、衬底加热器

[单选题]下列几种氧化方法相比，哪种方法制得的二氧化硅薄膜的电阻率会高些（）。

A. 干氧氧化
B. 湿氧氧化
C. 水汽氧化
D. 与氧化方法无关

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[单选题]真空镀膜室中的钟罩与底盘构成（）。

A. 衬底加热器
B. 抽气系统
C. 真空室
D. 蒸气源加热器

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