当注入剂量增加到某个值时，损伤量不再增加，趋于饱和。开始饱和

【名词&注释】

无损伤(no damage)、密切相关(closely related)

[单选题]当注入剂量增加到某个值时，损伤量不再增加，趋于饱和。开始饱和的注入剂量称为（）。

A. 临界剂量
B. 饱和剂量
C. 无损伤剂量
D. 零点剂量

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学习资料：

[多选题]关于正胶和负胶在显影时的特点，下列说法正确的是（）。

A. 负胶的感光区域溶解
B. 正胶的感光区域溶解
C. 负胶的感光区域不溶解
D. 正胶的感光区域不溶解
E. 负胶的非感光区域溶解

[单选题]损伤的分布与注入离子在在靶内的（）的分布密切相关。

A. 能量淀积
B. 动量淀积
C. 能量振荡
D. 动量振荡

[单选题]薄膜沉积的机构，依发生的顺序，可以分为这几个步骤。其中不包括（）。

A. 形成晶核
B. 晶粒自旋
C. 晶粒凝结
D. 缝道填补

[单选题]复合床和混合床可以串联使用。复合床就是指将阳树脂和阴树脂分别装在两个（）内串接起来。

A. 交换柱
B. 混合床
C. 混合柱
D. 复合柱

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