请在下列选项中选出多晶硅化金属的英文简称：（）。

【名词&注释】

保护层(protective layer)、多晶硅(polysilicon)、氮化硅(silicon nitride)、阻挡层(barrier layer)、绝缘层(insulating layer)、干氧氧化(dry oxidation)

[单选题]请在下列选项中选出多晶硅化金属的英文简称：（）。

A. A.OxideB.NitrideC.SilicideD.Polycide

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学习资料：

[多选题]干氧氧化^{(dry oxidation)}法具备以下一系列的优点（）。

A. 生长的二氧化硅薄膜均匀性好
B. 生长的二氧化硅干燥
C. 生长的二氧化硅结构致密
D. 生长的二氧化硅是很理想的钝化膜
E. 生长的二氧化硅掩蔽能力强

[单选题]下列哪些元素在硅中是快扩散元素：（）。

A. Na
B. B
C. P
D. As

[多选题]在半导体工艺中，与氮化硅比较，二氧化硅更适合应用在（）。

A. 晶圆顶层的保护层
B. 多层金属的介质层
C. 多晶硅与金属之间的绝缘层^{(insulating layer)}
D. 掺杂阻挡层
E. 晶圆片上器件之间的隔离

[单选题]复合床和混合床可以串联使用。复合床就是指将阳树脂和阴树脂分别装在两个（）内串接起来。

A. 交换柱
B. 混合床
C. 混合柱
D. 复合柱

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