在空位扩散中，如果迁移到空位的原子是基质原子，扩散属于（）。

【名词&注释】

化学反应(chemical reaction)、准确度(accuracy)、电子束(electron beam)、金属材料(metal materials)、自动记录(automatic recording)、氧化铬(chromium oxide)、强迫性(obsessive-compulsive)、使用方便(easy to use)、激光退火(laser annealing)、杂质扩散(impurity diffusion)

[单选题]在空位扩散中，如果迁移到空位的原子是基质原子，扩散属于（）。

A. 推挤扩散
B. 杂质扩散^{(impurity diffusion)}
C. 填隙扩散
D. 自扩散

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学习资料：

[单选题]下列哪些元素在硅中是快扩散元素：（）。

A. Na
B. B
C. P
D. As

[单选题]目前，最广泛使用的退火方式是（）。

A. 热退火
B. 激光退火^{(laser annealing)}
C. 电子束退火
D. 离子束退火

[单选题]硅晶片上之所以可以产生薄膜，出始于布满在晶片表面的许多气体分子或其它粒子，它们主要是通过（）到达晶片表面的。

A. 粒子的扩散
B. 化学反应
C. 从气体源通过强迫性^{(obsessive-compulsive)}的对流传送
D. 被表面吸附

[多选题]为了满足半导体器件对金属材料的低电阻连接以及可靠的要求，金属材料应该满足（）。

A. 低电阻率
B. 易与p或n型硅形成欧姆接触
C. 可与硅或二氧化硅反应
D. 易于光刻
E. 便于进行键合

[单选题]在新一代的CMP中，有使用（）磨料在金属表面上形成软质皮膜并加以去除的趋势。

A. 二氧化锰
B. 铝
C. 氧化铬
D. 金刚石

[多选题]电气测量技术的应用所以能在现代各种测量技术中占有重要的地位，是因为它具有很多优点，主要有：（）。

A. 电气测量仪表的结构简单，使用方便^{(easy to use)}
B. 电气测量仪表有足够的准确度
C. 电气测量仪表可以灵活地安装在需要进行测量的地方，并可实现自动记录
D. 可以解决远距离的测量问题，为集中管理和控制提供了条件
E. 能利用电气测量的方法对非电量（如温度、压力、速度、水位及机械变形等）进行测量

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