【名词&注释】
热扩散(thermal diffusion)、加速器(accelerator)、离子源(ion source)、扫描器(scanner)、分析器(analyzer)、玻璃器皿(glassware)、化合物半导体(compound semiconductor)、金属器皿(metalware)
[多选题]关于正胶和负胶的特点,下列说法正确的是()。
A. 正胶在显影时不会发生膨胀,因此分辨率高于负胶
B. 正胶的感光区域在显影时不溶解,负胶的感光区域在显影时溶解
C. 负胶在显影时不会发生膨胀,因此分辨率不会降低
D. 正胶的感光区域在显影时溶解,负胶的感光区域在显影时不溶解
E. 负胶在显影时会发生膨胀,导致了分辨率的降低
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