【名词&注释】
化学反应(chemical reaction)、单晶硅(single crystal silicon)、分析器(analyzer)、强迫性(obsessive-compulsive)、多晶硅刻蚀、氮化硅刻蚀(si 3 n 4 etching)
[多选题]晶片表面上的粒子是通过()到达晶片的表面。
A. 粒子扩散 B. 从气体源通过强迫性的对流传送 C. 化学反应 D. 被表面吸附 E. 静电吸引