在热扩散工艺中的预淀积步骤中，磷的扩散温度为（）。

【名词&注释】

热扩散(thermal diffusion)、扩散系数(diffusion coefficient)、载流子浓度(carrier concentration)、传输率(transfer rate)、单位面积(unit area)

[单选题]在热扩散工艺中的预淀积步骤中，磷的扩散温度为（）。

A. 600～750℃
B. 900～1050℃
C. 1100～1250℃
D. 950～1100℃

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学习资料：

[单选题]菲克一维扩散定律公式中的J是代表单位面积^{(unit area)}溶质（）。

A. 传输率
B. 载流子浓度
C. 扩散梯度
D. 扩散系数

[多选题]按曝光的光源分类，曝光可以分为（）。

A. 光学曝光
B. 离子束曝光
C. 接近式曝光
D. 电子束曝光
E. 投影式曝光

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