在半导体制造中，熔断丝可以应用在（）。

【名词&注释】

半导体(semiconductor)、点缺陷(point defect)、离子注入(ion implantation)、只读存储器(read only memory)、电容器(capacitor)、原子序数(atomic number)、射程分布(range distribution)、保护性元件

[多选题]在半导体制造中，熔断丝可以应用在（）。

A. MOS栅极
B. 保护性元件
C. 电容器极板
D. 制造只读存储器PROM
E. 晶圆背面电镀

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学习资料：

[单选题]point defect的意思是（）。

A. 点缺陷
B. 线缺陷
C. 面缺陷
D. 缺失的点

[单选题]下列哪些元素在硅中是快扩散元素：（）。

A. Na
B. B
C. P
D. As

[多选题]对于非晶靶，离子注入的射程分布^{(range distribution)}取决于（）。

A. 入射离子的能量
B. 入射离子的质量
C. 入射离子的原子序数^{(atomic number)}
D. 靶原子的质量、原子序数^{(atomic number)}、原子密度
E. 注入离子的总剂量

[多选题]在对层间绝缘膜进行CMP时，层间绝缘膜的表面会随下列那些因素产生变化（）。

A. 电路图形结构的凹凸
B. 尺寸大小
C. 位置分布
D. 高度
E. 密集程度

[单选题]阳树脂用盐酸做再生液，浓度为（）溶液可用原水配制。

A. 5％
B. 10%
C. 15%
D. 20%

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