在深紫外曝光中，需要使用CA光刻胶，CA的含义是（）。

【名词&注释】

光刻胶、加热法(heating method)、去离子水(deionized water)、化学试剂(chemical reagent)、红外线(infrared)、钠离子(sodium ion)、热空气(warm air)、主要因素(main factors)、玻璃器皿(glassware)

[单选题]在深紫外曝光中，需要使用CA光刻胶，CA的含义是（）。

A. 化学增强
B. 化学减弱
C. 厚度增加
D. 厚度减少

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学习资料：

[多选题]二氧化硅层中的钠离子可能来源于（）。

A. 玻璃器皿^(glassware)
B. 高温器材
C. 人体沾污
D. 化学试剂
E. 去离子水

[单选题]在VLSI工艺中，常用的前烘方法是（）。

A. 热空气^{(warm air)}对流法
B. 真空热平板传导法
C. 红外线辐射法
D. 射频感应加热法

[单选题]决定吸附原子彼此间能否形成一个稳定的核团，以便于进行凝结的主要因素^{(main factors)}主宰于所形成的核团是否（）而定。

A. 动能最低
B. 稳定
C. 运动
D. 静止

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