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- FMS非常适合（）。在进行纳米级测量非导体的零件表面形貌时,常采用的测量仪器为（）。大批大量生产方式
品种单一、中等批量生产方式
多品种、变批量生产方式#光学显微镜
扫描隧道显微镜
原子力显微镜#
- 计算机集成制造技术强调（）。企业的经营管理
企业的虚拟制造
企业的功能集成#
- 硅微体刻蚀加工和硅微面刻蚀加工的区别在于（）。体刻蚀加工对基体材料进行加工,而面刻蚀加工不对衬底材料进行加工；#
体刻蚀加工不对基体材料进行加工,而面刻蚀加工对衬底材料进行加工；
体刻蚀加工可获得高纵横比
- ERP的含义是（）。制造资源计划
物料需求计划
企业资源计划#
产品数据管理
- 计算机集成制造技术强调（）。下列不是制造自动化分系统的是（）。企业的经营管理
企业的虚拟制造
企业的功能集成#机械加工系统#
控制系统物
质量保证子系统d.监控系统
- 微细加工技术中的刻蚀工艺可分为下列哪两种（）。离子束刻蚀、激光刻蚀
干法刻蚀、湿法刻蚀#
溅射加工、直写加工
- 硅微体刻蚀加工和硅微面刻蚀加工的区别在于（）。体刻蚀加工对基体材料进行加工,而面刻蚀加工不对衬底材料进行加工；#
体刻蚀加工不对基体材料进行加工,而面刻蚀加工对衬底材料进行加工；
体刻蚀加工可获得高纵横比
- 硅微体刻蚀加工和硅微面刻蚀加工的区别在于（）。体刻蚀加工对基体材料进行加工,而面刻蚀加工不对衬底材料进行加工；#
体刻蚀加工不对基体材料进行加工,而面刻蚀加工对衬底材料进行加工；
体刻蚀加工可获得高纵横比
- CIMS的两个支撑子系统是（）。工程设计自动化子系统、管理信息子系统；
制造自动化子系统、质量保证子系统
计算机网络子系统、数据库子系统#
- 下列不属于先进制造工艺所具有的显著特点的是（）。优质
能耗大#
洁净
灵活
- ERP的含义是（）。下列不是制造自动化分系统的是（）。制造资源计划
物料需求计划
企业资源计划#
产品数据管理机械加工系统#
控制系统物
质量保证子系统d.监控系统
- 计算机集成制造技术强调（）。在机器人控制系统中下列不属于按其控制方式划分的是（）。下列不是制造自动化分系统的是（）。企业的经营管理
企业的虚拟制造
企业的功能集成#集中控制方式
主从控制方式
分散控制方式
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