正确答案: A

正确

题目：在镀镍液中提高温度能够增大镀层的内应力。

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[多选题]干法蚀刻通常指利用辉光放电方式，产生等离子体来进行图案转移的蚀刻技术。其中等离子体含有（）。

离子、电子

中性原子

分子

自由基