正确答案:

题目：切削加工后，引起表面残余应力的主要原因有（），（），（）。

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[单选题]高速加工机床的进给系统机构大多采用（）。

直线电机

[单选题]微细加工技术中的刻蚀工艺可分为下列哪两种（）。

干法刻蚀、湿法刻蚀