正确答案: A

体刻蚀加工对基体材料进行加工，而面刻蚀加工不对衬底材料进行加工；

题目：硅微体刻蚀加工和硅微面刻蚀加工的区别在于（）。

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[单选题]光刻加工采用的曝光技术中具有最高分辨率的是（）。

X射线曝光技术