正确答案: ABCD

相似相溶原理 皂化作用 乳化作用 空化作用

题目：除油的原理包括（）。

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[多选题]干法蚀刻通常指利用辉光放电方式，产生等离子体来进行图案转移的蚀刻技术。其中等离子体含有（）。

离子、电子

中性原子

分子

自由基