溅射法是由（）轰击靶材表面，使靶原子从靶表面飞溅出来淀积在衬

【名词&注释】

变容二极管(varactor)、电容量(capacity)

[单选题]溅射法是由（）轰击靶材表面，使靶原子从靶表面飞溅出来淀积在衬底上形成薄膜。

A. 电子
B. 中性粒子
C. 带能离子

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学习资料：

[单选题]变容二极管的电容量随（）变化。

A. 正偏电流
B. 反偏电压
C. 结温

[单选题]恒定表面源扩散的杂质分布在数学上称为（）分布。

A. 高斯
B. 余误差
C. 指数

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