缩略语PECVD、LPCVD、HDPCVD和APCVD的中文名称分别是（）、（）

【名词&注释】

中文名称(chinese name)、缩略语(abbreviation)、高密度等离子体(high density plasma)

[填空题]缩略语PECVD、LPCVD、HDPCVD和APCVD的中文名称分别是（）、（）、高密度等离子体化学气相淀积和（）。

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