用高能粒子从某种物质的表面撞击出原子的物理过程叫（）。

【名词&注释】

热扩散(thermal diffusion)、有机溶剂(organic solvent)、加速器(accelerator)、成品率(yield)、离子注入技术(ion implantation technique)、离子分析器(ion analyzer)

[单选题]用高能粒子从某种物质的表面撞击出原子的物理过程叫（）。

A. 蒸镀
B. 离子注入
C. 溅射
D. 沉积

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学习资料：

[单选题]早期，研究离子注入技术^{(ion implantation technique)}是用（）来进行的。

A. 重离子加速器
B. 热扩散炉
C. 质子分析仪
D. 轻离子分析器^{(ion analyzer)}

[单选题]下面那一种薄膜工艺中底材会被消耗（）。

A. 薄膜沉积
B. 薄膜成长
C. 蒸发
D. 溅射

[多选题]清洁处理主要使用的是（）。

A. 水
B. 有机溶剂
C. 碱
D. 酸
E. 盐酸

[单选题]阳树脂用盐酸做再生液，浓度为（）溶液可用原水配制。

A. 5％
B. 10%
C. 15%
D. 20%

[单选题]沾污引起的电学缺陷引起（），硅片上的管芯报废以及很高的芯片制造成本。

A. 不会影响成品率
B. 晶圆缺陷
C. 成品率损失
D. 晶圆损失

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