由于离子的质量远大于电子，故离子束加工的生产率比离子束高，但

【名词&注释】

粗糙度(roughness)、生产率(productivity)、离子束加工(ion beam machining)

[判断题]由于离子的质量远大于电子，故离子束加工的生产率比离子束高，但表年粗糙度稍差。

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