列出热氧化物在硅片制造的4种用途（）、（）、场氧化层和（）。

【名词&注释】

氧化物(oxide)、场氧化层(field oxide)

[填空题]列出热氧化物在硅片制造的4种用途（）、（）、场氧化层和（）。

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