集成电路制造工艺员（三级）题库2022模拟系统173

1. [单选题]奉献社会的实质是（）。

A. 获得社会的好评
B. 尽社会义务
C. 不要回报的付出
D. 为人民服务

2. [单选题]用电容－电压技术来测量扩散剖面分布是用了（）的原理。

A. pn结理论
B. 欧姆定律
C. 库仑定律
D. 四探针技术

3. [多选题]在半导体制造中，熔断丝可以应用在（）。

A. MOS栅极
B. 保护性元件
C. 电容器^(capacitor)极板
D. 制造只读存储器PROM
E. 晶圆背面电镀

4. [单选题]在刻蚀二氧化硅过程中假如我们在CF4的（）内加入适量的氢气，能够降低刻蚀的速率。

A. 气体
B. 等离子体
C. 固体
D. 液体

5. [单选题]在IC芯片生长中浅沟槽隔离技术STI逐渐取代了局部氧化LOCOS所制成的（）而成为相邻电子元件的绝缘体

A. 栅氧化层
B. 沟槽
C. 势垒
D. 场氧化层^{(field oxide)}

6. [单选题]铜互连金属多层布线中，磨料的粒径一般为（）。

A. 5~10nm
B. 20~30nm
C. 50~80nm
D. 100~200nm

7. [单选题]静电释放的英文简述为（）。

A. ESC
B. SED
C. ESD
D. SEM

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