【名词&注释】
真空度(vacuum)、离子源(ion source)、电子枪(electron gun)、节省时间(save time)
[判断题]换过防污板之后不烘烤就可以上片,这样可以节省时间(save time).
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学习资料:
[多选题]提高膜层聚集密度工艺有()。
A. A、提高离子源功率
B. B、降低温度
C. C、降低真空度
D. D、提高温度
[单选题]在相同光斑大小和蒸发速率的情况下,AL2O3电子枪功率()SiO2电子枪功率
A. A、大于
B. B、小于
C. C、等于
D. D、不知道
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