以下关于MEMS概念的描述中，错误的是（）。

【名词&注释】

半导体(semiconductor)、电解质(electrolyte)、集成电路设计(ic design)、微电子学(microelectronics)、电子机械(electro-mechanical)、高分子湿度传感器(high molecule humidity sensor)、方向盘转角传感器

[单选题]以下关于MEMS概念的描述中，错误的是（）。

A. 通过微细加工技术及微机械加工技术在半导体基板上制作的微型电子机械装置
B. 在微电子学中衡量集成电路设计和制造水平的重要尺度是特征尺寸
C. 特征尺寸为1μm~10mm为小型机构
D. 特征尺寸为1nm~10μm为纳米机械

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学习资料：

[单选题]在不同的环境的湿度测量应选用不同的湿度传感器，在污染严重的环境通常使用（）。

A. 高分子湿度传感器^{(high molecule humidity sensor)}
B. 陶瓷湿度传感器
C. 电解质式电阻湿敏传感器
D. 电解质式电容传感器

[单选题]不属于汽车行驶方向的传感器是（）。

A. 罗盘传感器
B. 车速传感器
C. 轮速传感器
D. 方向盘转角传感器

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