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2022半导体芯片制造中级工题库模拟考试题106

来源： 必典考网    发布：2022-04-17     [手机版]    
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【导读】

必典考网发布2022半导体芯片制造中级工题库模拟考试题106，更多半导体芯片制造中级工题库的模拟考试请访问必典考网半导体芯片制造工题库频道。

1. [多选题]硅外延生长工艺包括（）。

A. 衬底制备
B. 原位HCl腐蚀
C. 生长温度，生长压力，生长速度
D. 尾气的处理


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