镀层增宽是在图形电镀时产生的，增宽严重时会产生导线（）。

【名词&注释】

光刻胶、等离子体(plasma)

[填空题]镀层增宽是在图形电镀时产生的，增宽严重时会产生导线（）。

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学习资料：

[多选题]影响等离子体蚀刻特性好坏的因素包括以下几个方面（）。

A. 等离子体蚀刻系统的形态
B. 等离子体蚀刻的参数
C. 光刻胶
D. 待蚀刻薄膜的淀积参数条件

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