【名词&注释】
离子束刻蚀(ion beam etching)、干法刻蚀(dry etching)
[单选题]微细加工技术中的刻蚀工艺可分为下列哪两种()。
A. 离子束刻蚀、激光刻蚀 B. 干法刻蚀、湿法刻蚀 C. 溅射加工、直写加工