镀膜净化间规定每3小时记录一次温湿度。

【名词&注释】

表面质量(surface quality)、温湿度(temperature and humidity)、不均匀(uneven)、电子枪灯丝(electron gun filament)

[判断题]镀膜净化间规定每3小时记录一次温湿度。

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学习资料：

[多选题]真空室内部清扫不干净，可能会导致以下哪些结果？（）

A. A、机器抽速慢
B. B、产品表面质量差
C. C、机器效率降低
D. D、分光特性不重复

[多选题]电子枪灯丝^{(electron gun filament)}变形，可能有以下哪些结果？（）

A. A、电子枪光斑变形，位置打偏
B. B、内外排分布不均匀
C. C、分光特性不良
D. D、产生杂质

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